| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Соловьёв, Я. А. | - |
| dc.contributor.author | Шахлевич, Г. М. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-05-24T08:48:01Z | - |
| dc.date.available | 2022-05-24T08:48:01Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | Соловьёв, Я. А. Специальные материалы и субмикронные компоненты. Лабораторный практикум : пособие / Я. А. Соловьёв, Г. М. Шахлевич, А. Н. Петлицкий. – Минск : БГУИР, 2022. – 104 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-612-7 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47093 | - |
| dc.description.abstract | Включает в себя лабораторные работы по исследованию дефектов кристаллического строения кремниевых подложек микросхем, топологии, элементного состава и электрофизических свойств субмикронных полупроводниковых структур, характеристик многослойных оптически прозрачных пленок на кремнии, а также моделированию и исследованию характеристик транзисторно-транзисторных логических микросхем и микросхем на КМОП-транзисторах.
Предназначено для закрепления теоретических знаний магистрантов, полученных ими на лекциях и в процессе самостоятельного изучения дисциплины, приобретения навыков исследования субмикронных кремниевых структур на современном оборудовании. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | кремниевые подложки микросхем | ru_RU |
| dc.subject | КМОП-транзисторы | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковые структуры | ru_RU |
| dc.title | Специальные материалы и субмикронные компоненты. Лабораторный практикум : пособие | ru_RU |
| dc.type | Учебные материалы | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии
|
