https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47093| Title: | Специальные материалы и субмикронные компоненты. Лабораторный практикум : пособие |
| Authors: | Соловьёв, Я. А. Шахлевич, Г. М. Петлицкий, А. Н. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;кремниевые подложки микросхем;КМОП-транзисторы;полупроводниковые структуры |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Соловьёв, Я. А. Специальные материалы и субмикронные компоненты. Лабораторный практикум : пособие / Я. А. Соловьёв, Г. М. Шахлевич, А. Н. Петлицкий. – Минск : БГУИР, 2022. – 104 с. : ил. |
| Abstract: | Включает в себя лабораторные работы по исследованию дефектов кристаллического строения кремниевых подложек микросхем, топологии, элементного состава и электрофизических свойств субмикронных полупроводниковых структур, характеристик многослойных оптически прозрачных пленок на кремнии, а также моделированию и исследованию характеристик транзисторно-транзисторных логических микросхем и микросхем на КМОП-транзисторах. Предназначено для закрепления теоретических знаний магистрантов, полученных ими на лекциях и в процессе самостоятельного изучения дисциплины, приобретения навыков исследования субмикронных кремниевых структур на современном оборудовании. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47093 |
| ISBN: | 978-985-543-612-7 |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Solovev_Specialnie.pdf | 3.97 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.