Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47093
Title: Специальные материалы и субмикронные компоненты. Лабораторный практикум : пособие
Authors: Соловьёв, Я. А.
Шахлевич, Г. М.
Петлицкий, А. Н.
Keywords: учебно-методические пособия
кремниевые подложки микросхем
КМОП-транзисторы
полупроводниковые структуры
Issue Date: 2022
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Соловьёв, Я. А. Специальные материалы и субмикронные компоненты. Лабораторный практикум : пособие / Я. А. Соловьёв, Г. М. Шахлевич, А. Н. Петлицкий. – Минск : БГУИР, 2022. – 104 с. : ил.
Abstract: Включает в себя лабораторные работы по исследованию дефектов кристаллического строения кремниевых подложек микросхем, топологии, элементного состава и электрофизических свойств субмикронных полупроводниковых структур, характеристик многослойных оптически прозрачных пленок на кремнии, а также моделированию и исследованию характеристик транзисторно-транзисторных логических микросхем и микросхем на КМОП-транзисторах. Предназначено для закрепления теоретических знаний магистрантов, полученных ими на лекциях и в процессе самостоятельного изучения дисциплины, приобретения навыков исследования субмикронных кремниевых структур на современном оборудовании.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47093
ISBN: 978-985-543-612-7
Appears in Collections:Кафедра электронной техники и технологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Solovev_Specialnie.pdf3.97 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.