| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Денисов, Н. М. | - |
| dc.contributor.author | Борисенко, В. Е. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-18T09:10:32Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T09:38:56Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-18T09:10:32Z | |
| dc.date.available | 2017-07-19T09:38:56Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Денисов, Н. М. Особенности формирования диоксида титана в пористом кремнии р-типа проводимости // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ–БГУИР (Минск, 18–19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2 / редкол. : А. Н. Осипов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2014.-С. 40-41 | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-038-5 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/476 | - |
| dc.description.abstract | Получены структуры пористый кремний/диоксид титана по золь-гель технологии, в которых пористый кремний был сформирован на монокристаллических кремниевых пластинах с p-типом проводимости, а диоксид титана был получен из Ti-cодержащего золя. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | золь-гель метод | ru_RU |
| dc.subject | диоксид титана | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.title | Особенности формирования диоксида титана в пористом кремнии р-типа проводимости | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Секция «Микро- и наноэлектроника»
|
