https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48350| Title: | Плазмохимическое нанесение тонких пленок в повышении надежности элементной базы электронных устройств защиты информации |
| Authors: | Пигаль, Р. В. |
| Keywords: | материалы конференций;защита информации;тонкие пленки |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Пигаль, Р. В. Плазмохимическое нанесение тонких пленок в повышении надежности элементной базы электронных устройств защиты информации / Пигаль Р. В. // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХX Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 7 июня 2022 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Т. В. Борботько [и др.]. – Минск, 2022. – С. 79 – 80. |
| Abstract: | В работе с использованием источников обобщены сведения о методах плазмохимического осаждения из газовой фазы тонких слоев диэлектриков на основе нитрида, углерода и диоксида кремния, а также фосфор- и борсодержащих материалов. Описаны процессы роста слоев и приведены данные об основных физико-химических свойствах тонкослойных диэлектрических материалов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48350 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2022 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pigal_Plazmokhimicheskoye.pdf | 292.47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.