Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48350
Title: Плазмохимическое нанесение тонких пленок в повышении надежности элементной базы электронных устройств защиты информации
Authors: Пигаль, Р. В.
Keywords: материалы конференций;защита информации;тонкие пленки
Issue Date: 2022
Publisher: БГУИР
Citation: Пигаль, Р. В. Плазмохимическое нанесение тонких пленок в повышении надежности элементной базы электронных устройств защиты информации / Пигаль Р. В. // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХX Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 7 июня 2022 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Т. В. Борботько [и др.]. – Минск, 2022. – С. 79 – 80.
Abstract: В работе с использованием источников обобщены сведения о методах плазмохимического осаждения из газовой фазы тонких слоев диэлектриков на основе нитрида, углерода и диоксида кремния, а также фосфор- и борсодержащих материалов. Описаны процессы роста слоев и приведены данные об основных физико-химических свойствах тонкослойных диэлектрических материалов.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48350
Appears in Collections:ТСЗИ 2022

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pigal_Plazmokhimicheskoye.pdf292.47 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.