| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Снопков, П. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2022-11-22T05:53:58Z | - |
| dc.date.available | 2022-11-22T05:53:58Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | Снопков, П. А. Фотолитография в глубоком ультрафиолете / П. А. Снопков // Научная конференция учащихся колледжа : материалы 58-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18–22 апреля 2022 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минский радиотехнический колледж ; редкол.: В. В. Шаталова [и др.]. – Минск : БГУИР, 2022. – С. 248–250. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49096 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрен новейший метод фотолитографии с применением излучения в глубоком ультрафиолетовом спектре, технология и средства его обеспечения. Рассмотрены преимущества и недостатки в сравнении с другими методами. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | фотолитография | ru_RU |
| dc.subject | физика | ru_RU |
| dc.subject | ультрафиолетовое излучение | ru_RU |
| dc.title | Фотолитография в глубоком ультрафиолете | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Научная конференция учащихся колледжа : материалы 58-й научной конференции (2022)
|
