https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49248| Title: | Экспресс-контроль элементов интегральных микросхем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока |
| Authors: | Петлицкий, А. Н. Жигулин, Д. А. Ланин, В. Л. |
| Keywords: | публикации ученых;экспресс-контроль;интегральные схемы;растровая электронная микроскопия |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | ООО «Медиа КиТ» |
| Citation: | Ланин, В. Л. Экспресс-контроль элементов интегральных микросхем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока / А. Н. Петлицкий, Д. А. Жигулин, В. Л. Ланин // Технологии в электронной промышленности. – 2022. – № 2. – С. 58–61. |
| Abstract: | Рассмотрена методика выявления отказов элементов интегральных схем растровой электронной микроскопией в режиме наведенного тока EBIC. Данный метод является основой экспресс-контроля работоспособности ИС и отдельных интегральных элементов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49248 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Petlickii_Ekspress.pdf | 3.98 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.