Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49248
Title: Экспресс-контроль элементов интегральных микросхем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока
Authors: Петлицкий, А. Н.
Жигулин, Д. А.
Ланин, В. Л.
Keywords: публикации ученых;экспресс-контроль;интегральные схемы;растровая электронная микроскопия
Issue Date: 2022
Publisher: ООО «Медиа КиТ»
Citation: Ланин, В. Л. Экспресс-контроль элементов интегральных микросхем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока / А. Н. Петлицкий, Д. А. Жигулин, В. Л. Ланин // Технологии в электронной промышленности. – 2022. – № 2. – С. 58–61.
Abstract: Рассмотрена методика выявления отказов элементов интегральных схем растровой электронной микроскопией в режиме наведенного тока EBIC. Данный метод является основой экспресс-контроля работоспособности ИС и отдельных интегральных элементов.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49248
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Petlickii_Ekspress.pdf3.98 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.