https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49733| Title: | Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру |
| Other Titles: | Peculiarity of reactive magnetron deposition of tantalum oxide films with different methods of gas supply into the chamber |
| Authors: | Доан, Х. Т. Голосов, Д. А. Бурдовицин, В. А. Завадский, С. М. Мельников, С. Н. |
| Keywords: | публикации ученых;тонкие пленки;оксид тантала;реактивное магнетронное распыление;диэлектрические свойства |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | ГГУ имени Франциска Скорины |
| Citation: | Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру = Peculiarity of reactive magnetron deposition of tantalum oxide films with different methods of gas supply into the chamber / Х. Т. Доан [и др.] // Проблемы физики, математики и техники. – 2022. – № 3 (52). – С. 97–104. |
| Abstract: | Проведены исследования процессов реактивного магнетронного распыления Ta мишени в Ar/O2 смеси газов. Установлены зависимости напряжения разряда, скорости нанесения и электрофизических характеристик пленок оксида тантала от способа газоподачи и концентрации кислорода в Ar/O2 смеси газов. Установлено, что металлический, переходной и реактивный режим работы системы распыления определяются изменением скорости нанесения пленок. Независимо от способа подачи рабочих газов в камеру, начальное формирование диэлектрических пленок оксида тантала с низким оптическим поглощением наблюдается в переходном режиме работы системы. |
| Alternative abstract: | The processes of reactive magnetron sputtering of a Ta target in an Ar / O2 gas mixture have been studied. The dependences of the discharge voltage, deposition rate, electrical and physical characteristics of tantalum oxide films on the method of gases supply and oxygen concentration in the Ar / O2 gas mixture are established. It has been established that the metallic, transition and reactive modes of the sputtering system operation are determined by the change in the rate of film deposition. Regardless of the method of the working gases supply, the initial formation of dielectric tantalum oxide films with low optical absorption is observed in the transition mode of the system operation. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49733 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Doan_Osobennosti.pdf | 1.12 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.