| Title: | Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники |
| Other Titles: | Reconfigurable parallel mechanisms for multi-axis motion systems in assembly and optical-mechanical equipment of microelectronics |
| Authors: | Литвинов, Е. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;микроэлектроника;структурный синтез;динамическая модель;microelectronics;structural synthesis;dynamic mode |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Литвинов, Е. А. Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Е. А. Литвинов; науч. рук. Карпович С. Е. - Минск : БГУИР, 2012. - 22 с. |
| Abstract: | Цель работы: разработка реконфигурируемых исполнительных механизмов параллельной кинематикис шестью степенями свободы для многокоординатных систем перемещений на презиционных приводах прямого действия для сборочного и оптико-механического оборудывания микроэлектроники, обладающего повышенными совокупными характеристиками точности и быстродействия. |
| Alternative abstract: | The aim of the work: development of reconfigurable executable parallel mechanisms having six degrees of freedom for multi-axis motion systems built on high-precision direct-drive actuators for assembly and optical-mechanical equipment of microelectronics with the enhanced cumulative characteristics of precision and performance. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4975 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
