Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4975
Title: Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники
Other Titles: Reconfigurable parallel mechanisms for multi-axis motion systems in assembly and optical-mechanical equipment of microelectronics
Authors: Литвинов, Е. А.
Keywords: авторефераты диссертаций;микроэлектроника;структурный синтез;динамическая модель;microelectronics;structural synthesis;dynamic mode
Issue Date: 2012
Publisher: БГУИР
Citation: Литвинов, Е. А. Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Е. А. Литвинов; науч. рук. Карпович С. Е. - Минск : БГУИР, 2012. - 22 с.
Abstract: Цель работы: разработка реконфигурируемых исполнительных механизмов параллельной кинематикис шестью степенями свободы для многокоординатных систем перемещений на презиционных приводах прямого действия для сборочного и оптико-механического оборудывания микроэлектроники, обладающего повышенными совокупными характеристиками точности и быстродействия.
metadata.local.description.annotation: The aim of the work: development of reconfigurable executable parallel mechanisms having six degrees of freedom for multi-axis motion systems built on high-precision direct-drive actuators for assembly and optical-mechanical equipment of microelectronics with the enhanced cumulative characteristics of precision and performance.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4975
Appears in Collections:05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Литвинов.pdf1.27 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.