Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49756
Title: Диагностика тонкопленочных наноструктур системы Al-Fe/стекло методом сканирующей зондовой микроскопии
Other Titles: Diagnostics of thin film nanostructures of Al-Fe/glass system by scanning probe microscopy
Authors: Ташлыкова-Бушкевич, И. И.
Столяр, И. А.
Keywords: публикации ученых;ионно-ассистированное осаждение;сканирующая зондовая микроскопия;сплавы Al‒Fe
Issue Date: 2022
Publisher: БГУ
Citation: Ташлыкова-Бушкевич, И. И. Диагностика тонкопленочных наноструктур системы Al-Fe/стекло методом сканирующей зондовой микроскопии = Diagnostics of thin film nanostructures of Al-Fe/glass system by scanning probe microscopy / И. И. Ташлыкова-Бушкевич, И. А. Столяр // Материалы и структуры современной электроники : материалы X Международной научной конференции, Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорусский государственный университет ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 534-540.
Abstract: Методами сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) и покоящейся капли проведено комплексное исследование морфологии и свойств тонкопленочных наноструктур системы Al–Fe/стекло, полученных с использованием резонансного ионного источника вакуумной электродуговой плазмы с электродами, изготовленными из сплава Al‒1,5 ат. % Fe, в режимах пассивного и ионно-ассистируемого (U = 3 кВ) осаждения. Скорость нанесения покрытий составила 0,1–0,2 нм/мин. В рамках выполненного аналитического анализа СЗМ-изображений определены амплитудные и шаговые характеристики шероховатости образов, а также параметры-безразмерные комплексы (ψ и k), позволяющие выявить, как степень неоднородности поверхности коррелирует с процессом формирования пленок. Показано, что в зависимости от режима и времени осаждения модификация наноструктуры пленок сопровождается изменением поперечных и латеральных размеров элементов рельефа. Рассмотрено влияние структурной неоднородности субмикронной конусообразной морфологии поверхности на особенности метастабильного гетерогенного смачивания пленок водой.
Alternative abstract: Complex study of morphology and properties of thin film nanostructures of Al–Fe/glass system produced using a resonance ion source of vacuum arc plasma with electrodes made from Al–1.5 at. % Fe alloy in passive and ion-assisted (U = 3 kV) deposition modes was performed by scanning probe microscopy (SPM) and sessile drop method. Coating deposition rate was of 0.1–0.2 nm/min. Amplitude and spatial characteristics of roughness of specimens, as well as parameters-dimensionless complexes (ψ and k) have been determined within the framework of carried out analytical analysis of SPM-images and allow to reveal how the degree of heterogeneity of surface correlates with the process of film formation. Depending on the mode and time of deposition, it is shown that the modification of the nanostructure of films is accompanied by a change in the transverse and lateral dimensions of the relief elements. The influence of structural heterogeneity of sub-micron cone-shaped surface morphology on features of metastable heterogeneous wetting of films by water is considered.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49756
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tashlikova_Bushkevich_Diagnostika.pdf462.99 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.