Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49776
Title: Прозрачные проводящие покрытия на основе алюминиевой решетки, встроенной в анодный оксид алюминия
Other Titles: Transparent conductive coatings based on aluminium grid integrated in anodic aluminium oxide
Authors: Долбик, А. В.
Сасинович, Д. А.
Завадский, С. М.
Меледина, М. В.
Keywords: публикации ученых;электрохимическое анодирование;проводящие покрытия
Issue Date: 2022
Publisher: ФТИ НАН Беларуси
Citation: Прозрачные проводящие покрытия на основе алюминиевой решетки, встроенной в анодный оксид алюминия = Transparent conductive coatings based on aluminium grid integrated in anodic aluminium oxide / А. В. Долбик [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : сборник научных трудов. В 2 кн. Кн. 1 : Материаловедение / Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси ; редкол.: В. Г. Залесский [и др.]. – Минск, 2022. – С. 83-90.
Abstract: Предложен метод формирования прозрачных проводящих покрытий на основе алюминиевой решетки, встроенной в анодный оксид алюминия. Процесс формирования состоит из 4 основных операций: вакуумное осаждение пленки алюминия, фотолитография с маской сетки, локальное пористое анодирование алюминия, удаление маски. Проводимость изготовленных образцов покрытий достигает эквивалента проводимости пленок с поверхностным сопротивлением 1,2 Ом/квадрат. Прозрачность стекол со сформированными на них проводящими покрытиями визуально практически не отличается от прозрачности исходной стеклянной подложки.
Alternative abstract: A technique for the formation of transparent conductive coatings based on an aluminium grid integrated in anodic aluminium oxide is proposed. The formation process consists of 4 main operations: vacuum deposition of an aluminum film, photolithography with a grid mask, local porous aluminum anodizing, mask removal. The proposed coatings conductivity reaches the equivalent of conductivity of films with surface resistance of 1,2 Ohm per square. The transparency of glass substrate with conductive coatings formed on them practically does not differ visually from the transparency of the original glass substrate.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49776
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Dolbik_Prozrachnie.pdf1.83 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.