https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49903| Title: | Пассивирующее покрытие для подложек из арсенида галлия |
| Other Titles: | Пат. 5561 Респ. Беларусь |
| Authors: | Телеш, Е. В. Достанко, А. П. Юрченок, Л. Г. Малькевич, В. Э. |
| Keywords: | патенты;твердотельная электроника;интегральные схемы;полупроводниковые приборы |
| Issue Date: | 2003 |
| Publisher: | Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Citation: | Пассивирующее покрытие для подложек из арсенида галлия : пат. 5561 Респ. Беларусь : МПК H 01L 21/316 / Телеш Е. В., Достанко А. П., Юрченок Л. Г., Малькевич В. Э. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 19980235 ; заявл. 12.03.1998 ; опубл. 30.09.2003. – 5 с. |
| Abstract: | Изобретение относится к области твердотельной электроники, в частности к технологии интегральных схем и полупроводниковых приборов на арсениде галлия, и может быть использовано для защиты от внешних воздействий поверхности полупроводника. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49903 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_5561.pdf | 125.88 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.