Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4993
Title: Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники
Other Titles: The System of Precision Spatial Motion on the Basis of Planar Direct Drives for Microelectronics Production Equipment
Authors: Агранович, А. А.
Ahranovich, A. A.
Keywords: микроэлектроника
оптико-механическое оборудование
механизм параллельной кинематики
система управления
планарный позиционер
мехатронная система
верификация модели
microelectronics
optical-mechanical equipment
parallel kinematics mechanism
control system
planar drive
mechanotronic system
model verification
Issue Date: 2007
Publisher: БГУИР
Citation: Агранович, А. А. Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / А. А. Агранович ; науч. рук. Карпович С. Е. - Мн.: БГУИР, 2007. - 23 с.
Abstract: Цель работы: разработка системы прецизионных пространственных перемещений с шестью степенями свободы на трех планарных позиционерах как механо-аппаратно-программного комплекса для реализации сложных программируемых движений в оборудовании производства изделий электронной техники.The aim of the work: development of system of precision spatial movement with six degrees of freedom based on three planar positioners as mechanical, hardware and software complex for implementation of compound program motion in microelectronics production equipment.
URI: http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4993
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4993
Appears in Collections:05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Агранович.pdf1,27 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.