Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50005
Title: Способ получения многослойных защитных покрытий
Other Titles: А. с. 458061 СССР
Authors: Родионов, Ю. А.
Финкельштейн, Л. М.
Игнатенко, А. С.
Боброва, З. А.
Коновалов, Е. Г.
Keywords: патенты;полупроводниковые приборы;интегральные схемы
Issue Date: 1975
Publisher: Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий
Citation: Способ получения многослойных защитных покрытий : а. с. 458061 СССР : МПК H 01/7/00 / Родионов Ю. А., Финкельштейн Л. М., Игнатенко А. С., Боброва З. А., Коновалов Е. Г. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 1897991/26-25 ; заявл. 27.03.1973 ; опубл. 25.01.1975. – 2 с.
Abstract: Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем и может быть также использовано в этих областях техники, где используются многослойные покрытия.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50005
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pat_458061.pdf90.13 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.