https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50198| Title: | Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок |
| Other Titles: | А. с. 785790 СССР |
| Authors: | Лыньков, Л. М. Паркун, В. М. Бондаренко, В. В. Суходольский, А. М. |
| Keywords: | патенты;электроизмерительная техника;интегральные микросхемы;проводящие пленки |
| Issue Date: | 1980 |
| Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
| Citation: | Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок : а. с. 785790 СССР : МПК G 01 R 27/02 / Лыньков Л. М., Паркун В. М., Бондаренко В. В., Суходольский А. М. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 2699197/18-21 ; заявл. 15.02.1978 ; опубл. 07.12.1980. – 2 с. |
| Abstract: | Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано при создании устройств для измерения сопротивления проводящих пленок в процессе производства интегральных микросхем. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50198 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_785790.pdf | 133.21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.