Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50811
Title: Применение систем автоматизированного проектирования для учета механических напряжений при разработке неохлаждаемых тепловых детекторов болометрического типа
Other Titles: Application of Cad Systems to Accounting for Mechanical Stresses in the Development of Uncooled Thermal Detectors of the Bolometric Type
Authors: Чан Ван Чиеу
Ловшенко, И. Ю.
Стемпицкий, В. Р.
Корсак, К. В.
Чан Туан Чунг
Дао Динь Ха
Колос, В. В.
Keywords: цифровая трансформация;микроболометры;неохлаждаемые тепловые детекторы;механические напряжения
Issue Date: 2023
Publisher: БГУИР
Citation: Применение систем автоматизированного проектирования для учета механических напряжений при разработке неохлаждаемых тепловых детекторов болометрического типа=Application of Cad Systems to Accounting for Mechanical Stresses in the Development of Uncooled Thermal Detectors of the Bolometric Type / Чан Ван Чиеу [и др.] // Цифровая трансформация. – 2023. – Т. 29, № 1. – С. 72–80.
Abstract: В статье приведен сравнительный анализ характеристик основных типов болометров. Исследовано конструктивное решение неохлаждаемого теплового детектора болометрического типа, сформированного по технологии микроэлектромеханических систем. Посредством компьютерного моделирования в современных системах автоматизированного проектирования в микроэлектронике для оценки влияния механических напряжений, возникающих в конструктивных материалах при их формировании, на вели- чину деформации выполнен статический механический анализ. Установлено, что для обеспечения нормального функционирования микроболометра (уменьшения максимального отклонения пленки от номинального значения) необходимо уменьшить внутренние механические напряжения в пленке NiCr. Для пленок Si 3 N 4 , напротив, это значение следует увеличивать.
Alternative abstract: A comparative analysis of the characteristics of the main types of bolometers is indicated in the article. The constructive solution of an uncooled thermal detector of the bolometric type, formed using the technology of microelectromechanical systems, is studied. By means of computer simulation in modern computer-aided design systems in microelectronics, a static mechanical analysis was performed to assess the effect of mechanical stresses arising in structural materials during their formation on the magnitude of deformation. It has been established that to ensure the normal functioning of the microbolometer (to reduce the maximum deviation value of the film from the nominal value), it is necessary to reduce the internal mechanical stresses in the NiCr film. For the Si 3 N 4 films, on the contrary, this value should be increased.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50811
DOI: http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2023-29-1-72-80
Appears in Collections:Том 29, № 1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Chan_Primenenie.pdf819.88 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.