https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50856| Title: | Способ контроля физико-механических характеристик нарушенного поверхностного слоя полупроводниковых пластин |
| Other Titles: | А. с. 1226069 А СССР |
| Authors: | Полонин, А. К. Дидковский, В. С. Музыченко, О. М. Квасов, Н. Т. Прохоренко, Н. Л. |
| Keywords: | патенты;измерительная техника;полупроводниковые пластины |
| Issue Date: | 1986 |
| Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
| Citation: | Способ контроля физико-механических характеристик нарушенного поверхностного слоя полупроводниковых пластин : а. с. 1226069 А СССР : МПК G 01 H 13/00 / Полонин А. К., Дидковский В. С., Музыченко О. М., Квасов Н. Т., Прохоренко Н. Л. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3757077/24-28 ; заявл. 21.06.1984 ; опубл. 23.04.1986. – 3 с. |
| Abstract: | Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для определения однородности поверхностного слоя полупроводниковых пластин. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50856 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_1226069.pdf | 167.32 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.