https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50857| Title: | Способ управления нанесением металлических пленок |
| Other Titles: | А. с. 632991 СССР |
| Authors: | Лабунов, В. А. Сокол, В. А. Можухов, А. А. |
| Keywords: | патенты;микроэлектроника;интегральные схемы;проводящие пленки |
| Issue Date: | 1978 |
| Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
| Citation: | Способ управления нанесением металлических пленок : а. с. 632991 СССР : МПК G 05 D 5/03 / В. А. Лабунов, В. А. Сокол, А. А. Можухов, А. А. Родионов ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 2453661/18-24 ; заявл. 15.02.1977 ; опубл. 15.11.1978 – 2 с. : ил. |
| Abstract: | Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к технологии изготовления гибридных интегральных схем и может быть использовано при создании проводящих и резистивных пленок. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50857 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_632991.pdf | 99.19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.