Влияние вращающегося диссектора в объемном резонаторе на равномерность нагрева СВЧ энергией кремниевой пластины

Бондаренко, А. С.; Иванов, И. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51426

Title:	Влияние вращающегося диссектора в объемном резонаторе на равномерность нагрева СВЧ энергией кремниевой пластины
Other Titles:	Influence of a rotating dissector in a cavity resonator on the uniformity microwave heating of silicon wafer
Authors:	Бондаренко, А. С. Иванов, И. А.
Keywords:	материалы конференций;полупроводниковые пластины;кремниевые пластины;диссекторы
Issue Date:	2023
Publisher:	БГУИР
Citation:	Бондаренко, А. С. Влияние вращающегося диссектора в объемном резонаторе на равномерность нагрева СВЧ энергией кремниевой пластины = Influence of a rotating dissector in a cavity resonator on the uniformity microwave heating of silicon wafer / Бондаренко А. С., Иванов И. А. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 551–553.
Abstract:	Проведено моделирование нагрева полупроводниковой пластины в резонаторной камере СВЧ нагревательной системы. Показано, что наличие в камере вращающегося металлического диссектора может значительно повысить равномерность нагрева кремниевой пластины СВЧ энергией.
Alternative abstract:	Simulation of the heating of a semiconductor wafer in the resonator chamber of a microwave heating system is carried out. It is shown that the presence of a rotating metal dissector in the chamber can significantly increase uniformity of silicon wafer heating.
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51426
Appears in Collections:	Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Bondarenko_Vliyanie.pdf		1.75 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar