| Title: | Исследование состава вторичных ионных пучков меди и аргона |
| Other Titles: | Investigation of the composition of secondary ion beams of copper and argon |
| Authors: | Гутенко, Н. Д. |
| Keywords: | материалы конференций;спектроскопия;эмиссионная спектроскопия;ионные пучки;тонкие пленки |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Гутенко, Н. Д. Исследование состава вторичных ионных пучков меди и аргона = Investigation of the composition of secondary ion beams of copper and argon / Гутенко Н. Д. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 534–535. |
| Abstract: | Проведено исследование состава вторичного ионного пучка с применением оптической эмиссионной спектроскопии. Установлено наличие пиков свечения возбужденных атомов и ионов меди, железа и аргона |
| Alternative abstract: | The composition of the secondary ion beam was studied using optical emission spectroscopy. The presence of glow peaks of excited atoms and ions of copper, iron and argon has been established. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51446 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
