| Title: | Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования |
| Other Titles: | Anatolyevich Ion-plasma systems for deposition of superhard thin films by ion-assisted method |
| Authors: | Голосов, Д. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;тонкие пленки;сверхтвердые материалы;нитрид бора;алмазоподобные тонкие пленки;нитрид углерода;ионное ассистирование;двойное ионно-лучевое распыление;несбалансированное магнетронное распыление;thin films;superhard materials;boron nitride;diamond-like carbon thin films;carbon nitride;ion-assisted deposition;dual ion-beam deposition;unbalanced magnetron sputtering |
| Issue Date: | 2002 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Голосов, Д. А. Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Д. А. Голосов; науч. рук. А.П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2002. - 26 с. |
| Abstract: | Проведены исследования эффектов взаимодействия интенсивных ионных потоков с поверхностью в процессах роста и модификации тонкопленочных слоев на основе сверхтвердых материалов. Разработано и создано экспериментальное оборудование для формирования тонкопленочных покрытий методом двойного ионно-лучевого распыления и несбалансированного магнетронного распыления. |
| Alternative abstract: | Investigation of interaction effects of ion fluxes with surface during growth and modification of thin films based on of superhard materials has been made. Experimental equipment for thin films formation was developed and made by dual ion-beam deposition and unbalanced magnetron sputtering methods. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5147 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
