Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5147
Title: Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования
Other Titles: Anatolyevich Ion-plasma systems for deposition of superhard thin films by ion-assisted method
Authors: Голосов, Д. А.
Golosov, D. A.
Keywords: авторефераты диссертаций
тонкие пленки
сверхтвердые материалы
нитрид бора
алмазоподобные тонкие пленки
нитрид углерода
ионное ассистирование
двойное ионно-лучевое распыление
несбалансированное магнетронное распыление
thin films
superhard materials
boron nitride
diamond-like carbon thin films
carbon nitride
ion-assisted deposition
dual ion-beam deposition
unbalanced magnetron sputtering
Issue Date: 2002
Publisher: БГУИР
Citation: Голосов, Д. А. Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Д. А. Голосов; науч. рук. А.П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2002. - 26 с.
Abstract: Проведены исследования эффектов взаимодействия интенсивных ионных потоков с поверхностью в процессах роста и модификации тонкопленочных слоев на основе сверхтвердых материалов. Разработано и создано экспериментальное оборудование для формирования тонкопленочных покрытий методом двойного ионно-лучевого распыления и несбалансированного магнетронного распыления.Investigation of interaction effects of ion fluxes with surface during growth and modification of thin films based on of superhard materials has been made. Experimental equipment for thin films formation was developed and made by dual ion-beam deposition and unbalanced magnetron sputtering methods.
URI: http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5147
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5147
Appears in Collections:05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Голосов.pdf1,31 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.