| Title: | Анализ особенностей плазменной очистки и модификации поверхностей оптических элементов |
| Other Titles: | Analysis of the features of plasma cleaning and surface modification of optical elements |
| Authors: | Смурага, Е. С. |
| Keywords: | материалы конференций;микроэлектроника;оптика;плазменная обработка |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Смурага, Е. С. Анализ особенностей плазменной очистки и модификации поверхностей оптических элементов = Analysis of the features of plasma cleaning and surface modification of optical elements / Смурага Е. С. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 547–548. |
| Abstract: | Проведён обзор особенностей плазменной очистки и модификации поверхностей из различных материалов, применяемых в оптике и микроэлектронике. |
| Alternative abstract: | The article provide an overview of the features of plasma cleaning and surface modification of materials that are used in optics and microelectronics. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51510 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
