Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5156
Title: Методы и средства формирования программируемых движений в оборудовании производства изделий микроэлектроники
Other Titles: Methods and means for the forming of programmable motions in equipment for manufacturing of microelectronic Products
Authors: Дайняк, И. В.
Dainiak, I. V.
Keywords: авторефераты диссертаций
программируемое движение
методы и средства формирования движений
привод прямого действия
микрошаговое управление
сплайновая интерполяция
Programmable motion
methods and means for the forming of motions
direct drive
microstepping control
spline interpolation
Issue Date: 2006
Publisher: БГУИР
Citation: Дайняк, И. В. Методы и средства формирования программируемых движений в оборудовании производства изделий микроэлектроники: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / И. В. Дайняк; науч. рук. С. Е. Карпович. - Минск: БГУИР, 2006. - 24 с.
Abstract: Цель работы состоит в разработке методов и средств формирования программных движений, позволяющих повысить точность и быстродействие прецизионного оборудования производства изделий микроэлектроники.The aim of thesis is consisted of developing of methods and means for the forming of programmable motions, which allow increasing accuracy and operating speed of precision equipment for manufacturing of microelectronic products.
URI: http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5156
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5156
Appears in Collections:05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Дайняк.pdf1,41 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.