Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5213
Title: Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях
Other Titles: The integrated ion plasma processes of thin film structures formation on complicated - relief surfaces
Authors: Завадский, С. М.
Zavatskiy, S. M.
Keywords: авторефераты диссертаций
ион
пленка
магнетрон
ионно - лучевой источник
адгезия
оксид
рельеф
нанесение
распыление
ion
thin film
magnetron
ion beam source
adhesion
oxide
relief
deposition
sputtering
Issue Date: 2002
Publisher: БГУИР
Citation: Завадский, С. М. Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / С. М. Завадский; науч. рук. А.П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2002. - 24 с.
Abstract: Объектом исследования являются интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур из разряда в скрещенных ЕхН полях. Предметом исследования являются химико - физические процессы, закономерности и механизмы взаимодействия ионов и конденсирующегося материала, протекающие на поверхности различных подложек в процессе конденсации при ионно - плазменном нанесении тонкопленочных слоев и в условиях перераспыления.Object of investigation are development integrated ion plasma processes of thin film structures formation and systems for discharges with crossed ExH fields.Subject of investigation are physical - chemical processes regularity and mechanisms ions and condensing materials on the surface substrate during thin films deposition at the resputtering.
URI: http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5213
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5213
Appears in Collections:05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Завадский.pdf1,13 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.