https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52329| Title: | Моделирование движения лазера по заданной траектории для формирования переходных отверстий |
| Authors: | Лаппо, А. И. Масло, В. В. Ярмолик, В. И. |
| Keywords: | материалы конференций;переходные отверстия;кремниевые пластины;лазеры |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лаппо, А. И. Моделирование движения лазера по заданной траектории для формирования переходных отверстий / А. И. Лаппо, В. В. Масло, В. И. Ярмолик // Информационные технологии и управление : материалы 59-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 17–21 апреля 2023 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2023. – С. 45. |
| Abstract: | В данной статье рассматривается проблема формирования переходных отверстий в кремниевой пластине. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52329 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и управление : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lappo_Modelirovanie.pdf | 354.86 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.