https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52496| Title: | Металлизация переходных отверстий в кремниевых пластинах для создания трехмерных микроструктур |
| Authors: | Воробьева, А. И. Уткина, Е. А. |
| Keywords: | материалы конференций;трехмерные микроструктуры;металлические межсоединения;кремниевые пластины |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Воробьева, А. И. Металлизация переходных отверстий в кремниевых пластинах для создания трехмерных микроструктур / А. И. Воробьева, Е. А. Уткина // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХXI Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 6 июня 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Т. В. Борботько [и др.]. – Минск, 2023. – С. 24–25. |
| Abstract: | При изготовлении современных ИМС наиболее серьезные технологические проблемы связаны с формированием металлических межсоединений. Монтаж кремниевых кристаллов по принципу трехмерной сборки кристаллов (3D-технология) позволяет в значительной мере решить эти проблемы. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52496 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2023 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Vorobeva_Metallizaciya.pdf | 403.01 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.