| Title: | Свойства тонких пленок силицида тантала, полученных электронно-лучевым соиспарением в вакууме |
| Authors: | Зайцев, Д. В. |
| Keywords: | материалы конференций;химия;электронно-лучевые испарения;тонкие пленки |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Зайцев, Д. В. Свойства тонких пленок силицида тантала, полученных электронно-лучевым соиспарением в вакууме / Д. В. Зайцев // Научная конференция учащихся колледжа : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минский радиотехнический колледж ; редкол.: В. В. Шаталова [и др.]. – Минск : БГУИР, 2023. – С. 290–291. |
| Abstract: | Данная работа посвящена исследованию влияния параметров процесса роста (отношения скоростей испарения кремния и тантала) и последующего гомогенизирующего отжига на электрофизические и структурно-морфологические свойства пленок Tasi, а также на внутренние напряжения, развиваемые в них. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53209 |
| Appears in Collections: | Научная конференция учащихся колледжа : материалы 59-й научной конференции (2023)
|
