| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Чан Динь Ньат Хань | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2023-10-19T07:12:55Z | - |
| dc.date.available | 2023-10-19T07:12:55Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Чан Динь Ньат Хань. Исследование процессов магнетронного нанесения пленок оксида тантала распылительной системой с цилиндрической мишенью : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-36 80 08 / Чан Динь Ньат Хань ; науч. рук. Д. А. Голосов. – Минск : БГУИР, 2023. – 10 с. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53293 | - |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | en_US |
| dc.subject | технические науки | en_US |
| dc.subject | магнетронные распыления | en_US |
| dc.subject | тонкие пленки | en_US |
| dc.title | Исследование процессов магнетронного нанесения пленок оксида тантала распылительной системой с цилиндрической мишенью | en_US |
| dc.type | Thesis | en_US |
| Appears in Collections: | 1-36 80 08 Инженерная геометрия и компьютерная графика
|
