https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53293| Title: | Исследование процессов магнетронного нанесения пленок оксида тантала распылительной системой с цилиндрической мишенью |
| Authors: | Чан Динь Ньат Хань |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;технические науки;магнетронные распыления;тонкие пленки |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Чан Динь Ньат Хань. Исследование процессов магнетронного нанесения пленок оксида тантала распылительной системой с цилиндрической мишенью : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-36 80 08 / Чан Динь Ньат Хань ; науч. рук. Д. А. Голосов. – Минск : БГУИР, 2023. – 10 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53293 |
| Appears in Collections: | 1-36 80 08 Инженерная геометрия и компьютерная графика |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chan_Din_Nat_Han_Issledovanie.pdf | 205.19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.