https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53325| Title: | Исследование влияния СВЧ плазмохимической обработки на зарядовые состояния полупроводниковых структур интегральных микросхем |
| Authors: | Жаворонок, И. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;технические науки;СВЧ плазма;полупроводниковых структуры;интегральные микросхемы |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Жаворонок, И. А. Исследование влияния СВЧ плазмохимической обработки на зарядовые состояния полупроводниковых структур интегральных микросхем : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-39 80 03 / И. А. Жаворонок ; науч. рук. С. И. Мадвейко. – Минск : БГУИР, 2023. – 10 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53325 |
| Appears in Collections: | 1-39 80 03 Электронные системы и технологии |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Javoronok_Issledovanie.pdf | 245.42 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.