Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5335
Title: Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники
Other Titles: The forming of high resolution coordinate mesh of discontinuity for the increasing of accuracy of microelectronic equipment motion systems
Authors: Огер, В. П.
Oher, V.
Keywords: авторефераты диссертаций
координатная сетка дискретности
система перемещений
оборудывание микроэлектроники
coordinate mesh of discontinuity
motion system
microelectronic equipment
Issue Date: 2007
Publisher: БГУИР
Citation: Огер В. П. Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / В. П. Огер; науч. рук. С. В. Карпович. - Минск : БГУИР, 2007. - 22 с.
Abstract: Цель работы состоит в разработке математических моделей и алгоритмов формирования координатной сетки дискретности высокого разрешения, методики и алгоритмов определения набора оптимальных уровней квантования управляющих токов фаз для повышения точности систем прецизионного оборудывания микроэлектроники без реализации обраных связей по положению в системе управления. The aim of thesis is consisted of developing of mathematic models and algorithms for the forming of high resolution coordinate mesh of discontinuity, methods and algorithms for the defining of set of optimal quantization levels of phase control currents that increases the positioning accuracy of precision microelectronic equipment motion systems without the realizing position feedbacks inside the control system
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5335
Appears in Collections:05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
k_avt_O.pdf1,32 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.