https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53441| Title: | Расчет оптических параметров тонких пленок конструкционных материалов теплового неохлаждаемого детектора болометрического типа |
| Other Titles: | Calculation of Optical Parameters of Thin Films of Structural Materials of Thermal Uncooled Bolometric Type Detector |
| Authors: | Чан Ван Чиеу Корсак, К. В. Новиков, П. Э. Ловшенко, И. Ю. Завадский, С. М. Голосов, Д. А. Степанов, А. А. Губаревич, А. А. Колос, В. В. Соловьев, Я. А. Левчук, Д. С. Стемпицкий, В. Р. |
| Keywords: | доклады БГУИР;тепловые детекторы;микроболометры;инфракрасные детекторы |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Расчет оптических параметров тонких пленок конструкционных материалов теплового неохлаждаемого детектора болометрического типа = Calculation of Optical Parameters of Thin Films of Structural Materials of Thermal Uncooled Bolometric Type Detector / Чан Ван Чиеу [и др.] // Доклады БГУИР. – 2023. – Т. 21, № 5. – С. 73–80. |
| Abstract: | Повышенный интерес к применению неохлаждаемых тепловых детекторов болометрического типа (микроболометров) в инфракрасном или терагерцовом поле обнаружения обоснован их эксплуатационными и технологическими характеристиками, в частности: относительно низкой стоимостью изготовления, высокой эффективностью обнаружения, совместимостью с кремниевой КМОП-технологией, работоспособностью при комнатной температуре. Характеристики таких детекторов зависят от оптимизации критических параметров, которые определяются геометрией конструкции, а также электрическими, оптическими и тепловыми свойствами применяемых материалов. Определение оптических параметров является одним из решающих факторов при проектировании приборных структур микроболометров. В статье исследованы оптические параметры тонких пленок конструкционных материалов микроболометра на основе термочувствительной пленки оксида ванадия, изготовленных в ОАО «ИНТЕГРАЛ». Приведены результаты определения посредством применения метода отражения-передачи оптических констант (коэффициентов преломления n и поглощения k) тонких пленок по кривой пропускания. Выполнено сравнение результатов компьютерного моделирования спектров пропускания, отражения и поглощения с учетом полученных значений коэффициентов n и k с данными натурного эксперимента. |
| Alternative abstract: | The increased interest in utilizing uncooled thermal bolometer-type detectors (microbolometers) within the infrared or terahertz detection field is justified by their operational and technological characteristics, in particular: relatively low manufacturing cost, high detection efficiency, compatibility with silicon CMOS technology, and operation at room temperature. The performance of such detectors depends on optimizing critical parameters, which are dictated by both the geometrical design and the electrical, optical, and thermal properties of the materials used. The determination of optical parameters stands as a decisive factor in the design of microbolometer structures. This article delves into the examination of optical parameters of thin films of structural materials of microbolometer based on thermosensitive vanadium oxide film manufactured at JSC “INTEGRAL”. The investigation showcases the results of determining optical constants (refractive indexes n and absorption coefficients k) of thin films from the transmission curve by applying the reflection-transmission method. Furthermore, a comparison is carried out between the results of computer modeling of the transmission, reflection and absorption spectra – taking into account the obtained values of the coefficients n and k – and the empirical data from the in-situ experiment. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53441 |
| DOI: | http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-5-73-80 |
| Appears in Collections: | Том 21, № 5 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chan_Van_Chieu_Raschet.pdf | 1.54 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.