Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5424
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПрудник, А. М.-
dc.date.accessioned2016-01-13T06:54:07Z
dc.date.accessioned2017-07-20T08:44:08Z-
dc.date.available2016-01-13T06:54:07Z
dc.date.available2017-07-20T08:44:08Z-
dc.date.issued2002-
dc.identifier.citationПрудник А. М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / А. М. Прудник; науч. рук. Л. М. Лыньков. - Мн.: БГУИР, 2002. - 21 с.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5424-
dc.description.abstractЦелью работы является разработка конструкторско-технологических методов и средств обратной литографии с использованием тонких маскирующих пленок металлов и оксидов на их основе.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectавторефераты диссертацийru_RU
dc.subjectобратная литографияru_RU
dc.subjectобратные маскиru_RU
dc.subjectсубмикронные размерыru_RU
dc.subjectlift-off lithographyru_RU
dc.subjectlift-off masksru_RU
dc.subjectsubmicron dimensionsru_RU
dc.titleФормирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масокru_RU
dc.title.alternativeProducing of thin film submicron patterns by lift-off lithography using metal and oxide masksru_RU
dc.typeAbstract of the thesisru_RU
local.description.annotationThe aim of the work is to research influence of low-temperature and high-temperature treatment conditions on thin films of different metals and their oxides on local modification, electrochemical and thermal oxidation for using them as masks for lift-off lithography to produce patterns of submicron dimensions-
Appears in Collections:05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Прудник.pdf1.22 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.