https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54251| Title: | Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением |
| Authors: | Доан, Тхе Хоанг |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;тонкие пленки;сложные оксиды;составные мишени |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Доан, Тхе Хоанг. Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Тхе Хоанг Доан ; науч. рук. Д. А. Голосов. – Минск : БГУИР, 2023. – 21 с. |
| Abstract: | Целью исследования является разработка методов контролируемого формирования тонких пленок сложных оксидов реактивным магнетронным распылением составных мишеней, методов контроля и управления их составом, электрофизическими свойствами, которые определяют возможность использования данного класса пленок в качестве диэлектрических слоев современных МОП интегральных схем. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54251 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Avtoreferat-Doan-The-Hoang.pdf | 1.04 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.