https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56747| Title: | Анализ методов получения тонких пленок ионным распылением |
| Other Titles: | Analysis of methods for producing thin films by ion sputtering |
| Authors: | Ахметзянов, Г. Д. |
| Keywords: | материалы конференций;ионное распыление;тонкие пленки |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Ахметзянов, Г. Д. Анализ методов получения тонких пленок ионным распылением = Analysis of methods for producing thin films by ion sputtering / Г. Д. Ахметзянов // Электронные системы и технологии : сборник материалов 60-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 22–26 апреля 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2024. – С. 215–217. |
| Abstract: | Представлен анализ основных методов ионного распыления для получения тонких пленок, рассмотрены их преимущества и недостатки. |
| Alternative abstract: | An analysis of the main methods of ion sputtering for producing thin films is presented, their advantages and disadvantages are considered. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56747 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 60-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2024) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ahmenzyanov_Analiz_metodov.pdf | 696.59 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.