| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ахметзянов, Г. Д. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2024-07-30T08:42:07Z | - |
| dc.date.available | 2024-07-30T08:42:07Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Ахметзянов, Г. Д. Обзор существующих конструкций устройств для ионно-лучевой обработки = Review of existing designs of ion-beam treatment devices / Г. Д. Ахметзянов // Электронные системы и технологии : сборник материалов 60-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 22–26 апреля 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2024. – С. 218–222. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56748 | - |
| dc.description.abstract | Представлены результаты обзора различных конструкций систем
ионно-лучевого ассистирования, рассмотрены принципы работы таких устройств,
их достоинства и недостатки. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | ионные источники | en_US |
| dc.title | Обзор существующих конструкций устройств для ионно-лучевой обработки | en_US |
| dc.title.alternative | Review of existing designs of ion-beam treatment devices | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| local.description.annotation | The results of the review of various designs of ion-beam assisted systems are
presented, the principles of operation of such devices, their advantages and disadvantages are
considered. | - |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 60-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2024)
|
