| Title: | Обзор существующих конструкций устройств для ионно-лучевой обработки |
| Other Titles: | Review of existing designs of ion-beam treatment devices |
| Authors: | Ахметзянов, Г. Д. |
| Keywords: | материалы конференций;ионные источники |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Ахметзянов, Г. Д. Обзор существующих конструкций устройств для ионно-лучевой обработки = Review of existing designs of ion-beam treatment devices / Г. Д. Ахметзянов // Электронные системы и технологии : сборник материалов 60-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 22–26 апреля 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2024. – С. 218–222. |
| Abstract: | Представлены результаты обзора различных конструкций систем
ионно-лучевого ассистирования, рассмотрены принципы работы таких устройств,
их достоинства и недостатки. |
| Alternative abstract: | The results of the review of various designs of ion-beam assisted systems are
presented, the principles of operation of such devices, their advantages and disadvantages are
considered. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56748 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 60-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2024)
|
