| Title: | Характеристики тонкопленочных покрытий из боросиликатного стекла |
| Other Titles: | Characteristics of thin film borosilicate glass coatings |
| Authors: | Цедрик, Н. В. |
| Keywords: | материалы конференций;ионно-лучевое распыление;боросиликатные пленки |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Цедрик, Н. В. Характеристики тонкопленочных покрытий из боросиликатного стекла = Characteristics of thin film borosilicate glass coatings / Н. В. Цедрик // Электронные системы и технологии : сборник материалов 60-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 22–26 апреля 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2024. – С. 340–341. |
| Abstract: | Проведено исследование влияния добавки кислорода к рабочему газу и
температуры подложки на оптическое пропускание и электрофизические характеристики
покрытий из боросиликатного стекла. Установлено, что добавка кислорода позволила
повысить пропускание до 92 % даже при относительно невысокой температуре подложки. |
| Alternative abstract: | A study was carried out of the influence of the addition of oxygen to the working gas and the
substrate temperature on the optical transmission and electrical characteristics of borosilicate glass coatings.
It was found that the addition of oxygen made it possible to increase transmission to 92% even at a relatively
low substrate temperature. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56818 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 60-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2024)
|
