Сравнительная морфология и фотолюминесценция пленок ZnO, полученных методами SILAR и вакуумного напыления

Денисюк, С. В.; Куданович, О. Н.; Мухуров, Н. И.; Ходин, А. А.; Уткина, Е. А.; Меледина, М. В.; Таболич, А. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58891

Title:	Сравнительная морфология и фотолюминесценция пленок ZnO, полученных методами SILAR и вакуумного напыления
Other Titles:	Comparative morphology and photoluminescence of ZnO films obtained by SILAR and vacuum deposition methods
Authors:	Денисюк, С. В. Куданович, О. Н. Мухуров, Н. И. Ходин, А. А. Уткина, Е. А. Меледина, М. В. Таболич, А. А.
Keywords:	публикации ученых;фотолюминесценция;нанонити;оксид цинка
Issue Date:	2024
Publisher:	Физико-технический институт им. А. Ф.Иоффе Российской академии наук
Citation:	Сравнительная морфология и фотолюминесценция пленок ZnO, полученных методами SILAR и вакуумного напыления = Comparative morphology and photoluminescence of ZnO films obtained by SILAR and vacuum deposition methods / С. В. Денисюк, О. Н. Куданович, Н. И. Мухуров [и др.] // Физика и техника полупроводников. – 2024. – Т. 58, № 11. – С. 587–590.
Abstract:	Получены функциональные слои оксида цинка на подложках из анодного оксида алюминия методами SILAR (Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction, метод ионного наслаивания) и термического окисления в кислородсодержащей среде пленок цинка, осажденных в вакууме. Проведено исследование морфологии поверхности и сколов образцов пленок ZnO на подложках нанопористого оксида алюминия, а также получены спектры их фотолюминесценции. Установлены различия в структуре поверхности и оптических свойствах поликристаллических пленок ZnO в зависимости от условий получения.
Alternative abstract:	Functional zinc oxide layers on anodic aluminum oxide substrates were obtained by Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction and thermal oxidation in oxygen-containing medium of zinc films deposited in vacuum. The study of surface and spalling morphology of ZnO film samples on porous aluminum oxide substrates was carried out, and their photoluminescence spectra were obtained. Differences in the surface structure and optical properties of polycrystalline ZnO films depending on the conditions of preparation have been established.
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58891
DOI:	10.61011/FTP.2024.11.59479.6549A
Appears in Collections:	Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Utkina_Sravnitelnaya.pdf		996.41 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar