https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58989| Title: | Формирование наноструктур на основе анодного оксида алюминия и углеродных нанотрубок для устройств нанодиагностики |
| Other Titles: | Formation of nanostructures based on anode aluminium oxide and carbon nanotubes for nanodiagnostics devices |
| Authors: | Воробьева, А. И. Уткина, Е. А. |
| Keywords: | материалы конференций;пористый оксид алюминия;углеродные нанотрубки;наноразмерные частицы;электрохимические процессы;импедансные биосенсоры |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Воробьева, А. И. Формирование наноструктур на основе анодного оксида алюминия и углеродных нанотрубок для устройств нанодиагностики = Formation of nanostructures based on anode aluminium oxide and carbon nanotubes for nanodiagnostics devices / А. И. Воробьева, Е. А. Уткина // Медэлектроника–2024. Средства медицинской электроники и новые медицинские технологии : сборник научных статей XIV Международной научно-технической конференции, Минск, 5–6 декабря 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники [и др.]. – Минск, 2024. – С. 160–164. |
| Abstract: | В данном исследовании рассматриваются возможности создания интегральных емкостных преобразователей (импедансных биосенсоров), в состав которых включены функциональные элементы на основе массивов наночастиц (НЧ) никеля и многослойных углеродных нанотрубок (МУНТ), встроенных в пористый анодный оксид алюминия (ПАОА) на стандартной кремниевой подложке. МУНТ формировали каталитическим химическим осаждением из парогазовой фазы (chemical vapor deposition – CVD-синтез), НЧ катализатора размером 30±5 нм для осаждения МУНТ – электрохимическим осаждением Ni в поры ПАОА. На основании обобщения полученных результатов и оптимизации режимов основных технологических операций, разработан метод изготовления импедансных биосенсоров, совмещенный с технологией ИС. Полученные наноструктуры могут быть использованы при изготовлении УНТ-электродов импедансных биосенсоров и других наноэлектронных устройств с высокой плотностью упаковки элементов. |
| Alternative abstract: | В данном This study examines the possibilities of creating integral capacitive converters (impedance biosensors), which include functional elements based on nickel nanoparticle (NP) arrays and multilayer carbon nanotubes (MСNT) embedded in porous anode alumina (PAOA) on a standard silicon substrate. MUNT was formed by catalytic chemical vapor deposition (CVD synthesis), LF catalyst with a size of 30±5nm for MСNT deposition - electrochemical Ni deposition into PAOA pores. Based on the generalization of the obtained results and optimization of the modes of the main technological operations, a method for manufacturing impedance biosensors was developed, combined with the IS technology. The obtained nanostructures can be used in making CNT electrodes of impedance biosensors and other nanoelectronic devices with high element packing density. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58989 |
| Appears in Collections: | Медэлектроника - 2024 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Vorobeva_Formirovanie.pdf | 801.68 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.