| Title: | Синтез фторуглеродных покрытий из ионного пучка |
| Other Titles: | Synthesis of fluorocarbon coatings from ion beam |
| Authors: | Ракицкий, А. А. |
| Keywords: | материалы конференций;фторуглеродные покрытия;ионные пучки;ионное распыление |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Ракицкий, А. А. Синтез фторуглеродных покрытий из ионного пучка = Synthesis of fluorocarbon coatings from ion beam / А. А. Ракицкий // Электронные системы и технологии : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 21–25 апреля 2025 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2025. – С. 344–345. |
| Abstract: | Исследовано влияние мощности первичного разряда, потенциала диафрагмы и состава рабочего газа на скорость нанесения фторуглеродных покрытий, полученных осаждением из ионного пучка. Установлено, скорость нанесения монотонно росла с увеличением мощности первичного ионного пучка и снижалась при наличии положительного напряжения на диафрагме. |
| Alternative abstract: | The influence of the primary discharge power, diaphragm potential and working gas composition on the rate of deposition of fluorocarbon coatings obtained by ion beam deposition was investigated. It was found that the rate of application increased monotonically with increasing primary ion beam power and decreased in the presence of positive voltage on the diaphragm. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60139 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 61-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025)
|
