https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60179| Title: | Влияние температуры подложки на характеристики фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучков |
| Other Titles: | Effect of substrate temperature on the characteristics of fluorocarbon coatings obtained by direct ion beam deposition |
| Authors: | Шевчик, Е. В. Курбако, Е. Г. |
| Keywords: | материалы конференций;наноэлектроника;фторуглеродные покрытия;ионные пучки;трибология |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шевчик, Е. В. Влияние температуры подложки на характеристики фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучков = Effect of substrate temperature on the characteristics of fluorocarbon coatings obtained by direct ion beam deposition / Е. В. Шевчик, Е. Г. Курбако // Электронные системы и технологии : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 21–25 апреля 2025 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2025. – С. 346–348. |
| Abstract: | Исследовано влияние температуры подложки на характеристики фторуглеродных покрытий. Установлено, что увеличение температуры конденсации до 580 К позволило повысить оптическое пропускание и величину запрещенной зоны, износостойкость, что можно объяснить ростом степени химического взаимодействия между углеродом и фтором. Нагрев подложки свыше 580 – 600 К привел к ухудшению характеристик, что можно связать с десорбцией фтора из покрытия. |
| Alternative abstract: | The influence of substrate temperature on the characteristics of fluorocarbon coatings was studied. It was found that increasing the condensation temperature to 580 K allowed to increase optical transmission and the value of the forbidden zone, wear resistance, which can be explained by the increase in the degree of chemical interaction between carbon and fluorine.Heating the substrate above 580–600 K led to a deterioration in characteristics, which can be associated with the desorption of fluorine from the coating. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60179 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 61-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| SHevchik_Vliyanie.pdf | 647.55 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.