| Title: | Технология изготовления TFT: сравнение метода обратного травления канала с методом прерывания травления |
| Authors: | Шрамов, И. И. |
| Keywords: | материалы конференций;транзисторы;тонкопленочные транзисторы;травление металла |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шрамов, И. И. Технология изготовления TFT: сравнение метода обратного травления канала с методом прерывания травления / И. И. Шрамов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–23 апреля 2025 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2025. – С. 251–252. |
| Abstract: | В данной работе приведено сравнение двух наиболее популярных методов формирования тонкоплёночных транзисторов (TFT) на аморфном гидрогенизированном кремнии a-Si:H, а именно технологии с обратным травлением канала с нижним расположением затвора и технологии с прерыванием травления. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60376 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025)
|
