| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Шукало, А. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2025-06-20T08:00:02Z | - |
| dc.date.available | 2025-06-20T08:00:02Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | - |
| dc.identifier.citation | Шукало, А. А. Усовершенствованная резка слитков монокристаллического кремния / А. А. Шукало // Радиотехника и электроника : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–23 апреля 2025 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2025. – С. 250. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60383 | - |
| dc.description.abstract | Получение полупроводниковой подложки состоит из технологического процесса, включающего в себя более 50 технологических операций. В работе рассмотрена одна из начальных и важных операций – резка слитков монокристаллического кремния на пластины. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | полупроводниковые приборы | en_US |
| dc.subject | монокристаллы | en_US |
| dc.subject | полупроводниковые подложки | en_US |
| dc.title | Усовершенствованная резка слитков монокристаллического кремния | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025)
|
