https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60383| Title: | Усовершенствованная резка слитков монокристаллического кремния |
| Authors: | Шукало, А. А. |
| Keywords: | материалы конференций;полупроводниковые приборы;монокристаллы;полупроводниковые подложки |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шукало, А. А. Усовершенствованная резка слитков монокристаллического кремния / А. А. Шукало // Радиотехника и электроника : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–23 апреля 2025 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2025. – С. 250. |
| Abstract: | Получение полупроводниковой подложки состоит из технологического процесса, включающего в себя более 50 технологических операций. В работе рассмотрена одна из начальных и важных операций – резка слитков монокристаллического кремния на пластины. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60383 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| SHukalo_Usovershenstvovannaya.pdf | 425.67 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.