https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6148| Title: | Исследование чувствительности к механическим нагрузкам мембранных элементов МЭМС из анодированного алюминия |
| Authors: | Биран, С. А. Короткевич, Д. А. Короткевич, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;микроэлектромеханические системы;механические системы;анодированный алюминий |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Биран, С. А. Исследование чувствительности к механическим нагрузкам мембранных элементов МЭМС из анодированного алюминия / С. А. Биран, Д. А. Короткевич, А. В. Короткевич // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХII Белорусско-российской научно-технической конференции, 28–29 мая 2014 г., Минск. – Минск : БГУИР, 2014. — С. 56 - 57. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6148 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2014 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Biran_Issledovaniye.PDF | 353.69 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.