| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кузьмар, И. И. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2025-10-28T08:23:10Z | - |
| dc.date.available | 2025-10-28T08:23:10Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | - |
| dc.identifier.citation | Кузьмар, И. И. К89 Контроль и диагностика твердотельных субмикронных структур. Лабораторный практикум : пособие / И. И. Кузьмар, С. М. Завадский. – Минск : БГУИР, 2025. – 61 с. | en_US |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-802-2 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/61907 | - |
| dc.description.abstract | Содержит описание лабораторных работ, цель которых – закрепить теоретические знания студентов специальности 7-06-0713-02 «Электронные системы и технологии» профилизации «Интегрированные технологии производства электронных средств», полученные ими на лекциях и в процессе самостоятельного изучения дисциплины; ознакомиться со специализированным диагностическим оборудованием отечественных и зарубежных производителей, реализующим методы оптической микроскопии и интерферометрии, атомно-силовой микроскопии, спектральные методы анализа поверхности субмикронных структур; приобрести практические навыки контроля и диагностики морфологии поверхности и
функциональных свойств материалов, применяемых при производстве электронных средств. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | учебно-методические пособия | en_US |
| dc.subject | электронные системы | en_US |
| dc.subject | электронные средства | en_US |
| dc.subject | твердотельные структуры | en_US |
| dc.subject | субмикронные структуры | en_US |
| dc.title | К89 Контроль и диагностика твердотельных субмикронных структур. Лабораторный практикум : пособие | en_US |
| dc.type | Book | en_US |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии
|
