К89 Контроль и диагностика твердотельных субмикронных структур. Лабораторный практикум : пособие

Abstract

Содержит описание лабораторных работ, цель которых – закрепить теоретические знания студентов специальности 7-06-0713-02 «Электронные системы и технологии» профилизации «Интегрированные технологии производства электронных средств», полученные ими на лекциях и в процессе самостоятельного изучения дисциплины; ознакомиться со специализированным диагностическим оборудованием отечественных и зарубежных производителей, реализующим методы оптической микроскопии и интерферометрии, атомно-силовой микроскопии, спектральные методы анализа поверхности субмикронных структур; приобрести практические навыки контроля и диагностики морфологии поверхности и функциональных свойств материалов, применяемых при производстве электронных средств.