Характеристики отражения и передачи многослойных тонкопленочных экранов электромагнитного излучения в СВЧ-диапазоне

Abstract

Представлены результаты исследований характеристик отражения и передачи экранов электромагнитного излучения в СВЧ-диапазоне, представляющих собой полимерные подложки с многослойными покрытиями, состоящими из слоя магнитного сплава систем Fe–Ni, Fe–Co или Ni–Co и подслоя Al или Al–Cu с поверхностным сопротивлением не более 0,1 Ом/кв. Приведены режимы нанесения таких покрытий и технологии изготовления экранов. Исследовано влияние включения в структуру покрытий рассматриваемых экранов подслоев Al и Al–Cu на значения их коэффициентов отражения и передачи электромагнитного излучения в СВЧ-диапазоне. Установлено, что наименьшие значения коэффициентов отражения электромагнитного излучения в диапазоне частот 2–17 ГГц (до –8,5 дБ) имеют экраны с покрытием системы Fe–Ni. При этом коэффициент передачи электромагнитного излучения в указанном диапазоне частот таких экранов составляет –11,8 дБ. Показано, что в результате включения в структуру покрытий этих экранов подслоев из Al и Cu значение их коэффициентов отражения электромагнитного излучения в диапазоне частот 2–17 ГГц увеличивается до –0,1 дБ, а значение коэффициента передачи уменьшается до –31,3 дБ. Полученные данные можно использовать при разработке экранов электромагнитного излучения СВЧ-диапазона со сниженными массогабаритными параметрами.