Формирование антиотражающих покрытий на основе наноструктурированного оксида циркония

Abstract

Представлен метод формирования антиотражающих покрытий на основе наноструктурированного оксида циркония с использованием двухстадийного электрохимического анодирования. В качестве исходных материалов исследованы циркониевая фольга и тонкие пленки циркония, нанесенные методом магнетронного распыления. Процесс анодирования проводился в гальваностатическом режиме в водных растворах хлорида натрия и лимонной кислоты. Установлено, что последовательная смена электролитов позволяет управлять морфологией и составом слоев: от пористого циркония до наноструктурированного оксида циркония. С помощью растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального анализа изучена структура и элементный состав полученных пленок, выявлено встраивание углеродсодержащих анионов в структуру оксида. Экспериментально показано, что разработанная методика позволяет существенно снизить коэффициент отражения в видимом и ближнем ИК-диапазоне (380–1000 нм) до уровня около 1%. Полученные результаты характеризуются высокой воспроизводимостью (дисперсия не более 0,1%). Разработанные покрытия перспективны для применения в интегральной оптике, системах оптических межсоединений и устройствах преобразования световой энергии.